第八十六章 质疑剽窃

李皓深谙打人要打脸的道理，只可惜这回他们似乎是没脸来，重新又换了一批人。虽然依旧那般的傲慢，年纪也是一般的大，但总归是差了点感觉。正当李皓都不想搭理他们的时候，他们却又主动上门来找虐。因为在光刻机研究卡壳在193nm的这些年里，日本和阿斯麦公司选择了不同的路线。日本人坚持以往思路，继续迭代技术，去研发新的光源，坚持在传统干式微影技术上一条路走到底。而阿斯麦则因为加入了美国牵头的EUV联盟，就主张使用极紫外技术生产设备。从后面的发展情况来看，EUV技术无疑更先进，日本在选择传统派阵营时，其实就已经输了。但事实上，日本人也并非不愿意尝试极紫外光技术，而是被美国别有用心的排除在了门外。毕竟即使它们再怎么愿意当儿子，也架不住人家的忌惮。就像是之前的广岛协议一般，美国是不会允许有人来实际威胁他们的地位的，即使是干儿子也不行。只不过在现如今的阶段，因为技术储备的原因，双方暂时都没有达成目标。不过相比于极紫外光技术依旧存在的很多技术难关，日本人这里的157nmF2激光的研发却已经有了实质性进展。所以在这个时候，对于中国人弄出来的浸润式光刻机，就让他们极为排斥。因为它们能从现有公布出来的数据中看出来，浸润式光刻机的后续开发空间巨大。只需要调整光刻胶上面的液体密度，就能将193nm的光波长折射成需要的精度。而且最重要的一点，这种浸入式方案属于小改进大效果，有着以往的产品经验，稳定性和开发速度必然都不是它们的新产品能比的。要知道它们为此可是投入了重资，一旦先机被抢走了，那投进去的钱不就全打了水漂。反观阿斯麦这里，见到了这台光刻机之后，反应也是非常强烈。随即就找到了林奔坚询问情况，原来就在今年的早些时候，他们就已经和林奔坚取得了联系，并最终同意了对林奔坚给的浸润式方案进行实验。结果他们这还在实验中的方案，现在却见这里已经拿出了成品，当然就想要问清楚。林奔坚对此也是一头雾水，好在他脑子里面还有理智，没有选择直接跳出来。而是在徐教授发完言下台后，赶忙就带着阿斯麦的人，找到了徐教授。“徐教授，我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的？”徐教授之前听李皓提起过这位，也听过他的一些研究方向。所以对于他的质问，并没有太过意外：“这个自然是我们基于浸没式光刻技术，自行研发出来的成果，有什么问题吗？”浸没式光刻起源于浸润式显微镜，是由一个意大利科学家在1855年发明的。相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶上，这个显微镜的功能则是将图案放大到ccd探测器上。虽然是两个不同的领域，但根本的原理却是相通的，所以徐教授这么说也没问题。可是架不住林奔坚不信啊，质疑道：“真的是这样吗？我记得之前，曾经有一位大陆人接触过我，希望我能加入到国内的实验室工作。虽然当时他并没有说哪家实验室，但看现在情况，他应该和您是一起的吧。您可能还不知道，我已经和阿斯麦公司达成了合作，也正在研究浸没式光刻机。”听到这话，徐教授也是不由皱起了眉头：“所以你是怀疑，我们偷取了你的研究成果？这简直就是个笑话。就不说浸没式的概念，早在上个世纪就有人提出过，就算是有关光刻机的具体理论，也是在1980年，由列支敦士登公国的arelli和E.ach提出。并且还在美国申请了专利，这个和你好像也没什么关系吧，所以你指的偷取成果是从何而来。”这话堵得正中核心，毕竟老美自己的专利认可，它们总不能来自打嘴巴。徐教授这里聚集了一堆人，也让在后面关注的李皓注意到了。于是便走了过来，询问发生了什么事情。徐教授不客气的说道：“这位是台岛的林奔坚教授，刚刚质疑我们剽窃成果。”“林教授，之前你虽然没有接受邀请，但谈的也算是愉快，不用这么有敌意吧。”听到李皓就这么承认了这件事，林奔坚心里就更坐实了自己的想法。不过他也是认识李皓的，毕竟之前他在美国工作了二十几年，怎么会不知道李皓这么个风云人物。当着李皓的面，纵使他心里有不满，也得收敛起来。“我只是合理怀疑而已，毕竟贵公司曾经和我接触过，而我之前就是在做关于这方面的研究。”李皓笑道：“那你可能是误会了，有关浸没式光刻机的专利授权，我们已经从arelli和E.ach手中获取到了。而且徐教授团队，早在97年得时候，就已经开始了浸没式光刻机得实验，并且一直都有成果出来。如果你不信的话，我可以给你一份专利申请的时间表，这个总是做不了假的。所以我们邀请你，是因为认可你对技术方向的判断力，觉得符合我们的要求，仅此而已。”这话说的他脸上一阵白、一阵红的，明显是被这话刺痛了，觉得被讽刺有些自作多情。两人的对话，都被翻译一字不落的传进了阿斯麦的人耳中。他们没想到这事会是这么个结果，尤其是在听说已经注册了专利的时候，他们就更有些紧张。毕竟这不仅意味着，他们前面的研究，会不会就此打水漂。更重要的一点，是他们早就将浸没式光刻机技术，视为打败日本光刻机的一件利器，可不想要就此错失。当即就忍不住问道：“在决定与林先生合作，共同开发浸没式光刻机的时候，我们曾经查询过相应的专利许可，似乎并没有发现您刚刚所说的。”这话让林奔坚也活了过来，也向李皓投来了质疑的目光，感觉像是抓到了什么把柄。“这不可能，我们从98年开始，我们就已经陆续开始申请专利，是不是你们漏查了。”阿斯麦的人看着李皓一脸的肯定，实在不像是说假话，也开始自我怀疑起来。倒是林奔坚好不容易抓住了这个机会，不想要这么放弃。毕竟如果这一切都是真的，也就意味着这次和阿斯麦的合作，就彻底失败了。要知道这可是他回到台岛，就一力推动的大项目，要是就这么失败，那他的前途多少有些堪忧。“不光是他们，我也查询过相应的成果，也没有任何记录，所以……”说完就死盯着李皓，希望能从李皓脸上，发现什么端倪。但李皓说的都是真的，又怎么可能有反应。不过为了能配合一下，李皓还是装出了一副恍然大悟，似乎想到了什么的样子。“我想起来，你们在查询的时候，是不是没有查询中国的专利库信息？我们最开始申请的时候，是在大陆的专利局。不过中国早在94年，就已经加入到了专利合作条约中，同样也是受到保护的。”这话一出，林奔坚脸瞬间就黑成了一块炭，因为他还真的没有查过。毕竟在他们眼里，中国根本就没有开发光刻机的能力，所以完全就没往这方面想。这下验证成功之后，林奔坚就算再无奈，也只能承认自己的失败。只是现在也没人愿意管他，阿斯麦的人如今更想和李皓合作，得到开发浸没式光刻机的通行证。对此李皓自然不可能这么简单的答应，毕竟以阿斯麦公司的实力，一旦真的投入进来，进展肯定比徐教授他们快。对于李皓而言，现阶段最好的结果，就是限制住阿斯麦的发展。虽然李皓更讨厌日本，但是他们的技术路线，从一开始就走错了。就算后面意识到问题，再想掉头也是需要时间的，而中国光刻机研究最需要的就是时间。而且李皓还不用担心日本会一直做大，它的老爹会想办法拖后腿的。所以就给了一个摸棱两可的答案，约定了下次见面的时候，反正先吊着阿斯麦的人再说。等把人给送走，李皓转身也就准备要离开了。结果刚走出展馆，就被徐教授从后面追了上来。看着气喘吁吁的徐教授，李皓赶紧上前扶道：“您老慢点，身体要紧！这是又发生了什么事情吗？”徐教授缓了缓气，说道：“没有，没发生什么事，我追过来只是想问你，是不是打算跟阿斯麦合作？”李皓闻言先望了望周围，这场馆门口人也不少，不是个合适谈事的地方。就说道：“这事先不急着谈，您还是先回去，把这场发布会给顺利结束，其他人我没这么放心。等明天您再到公司去，咱们坐下来慢慢的把这事聊好。”听到李皓的话，徐教授也没再多留，转身就回到了场馆里面。这场发布会的意义，相比于上次的要更重大一些，因为这是中国在一个科技尖端领域，达到了世界最先进的水平。尤其是其中这个最字，那可是货真价实。所以当晚，秧视新闻里面燧人制造的名字，再一次被反复提及。甚至李皓还接到了老学长打来的祝贺电话，并表示希望看到再创新高，引领世界的那一天。对此，李皓自然是顺着话说，可是在李皓心里却明白，这事就算是可以，那也只是短期内的。毕竟在技术积累上，纵使有李皓这些年的努力，可双方却依旧差了太多。浸润式光刻方案难度不大，纵使李皓有心设置阻碍，也拦不住阿斯麦太久。更别说后续EUV光学系统，阿斯麦已经有了一系列成果，而中国才刚刚开始研究。不过有志者事竟成，李皓依旧对于未来抱有信心。毕竟在原先那么困难的情况下，中国依旧在光刻机和芯片制造领域，创造了那么多成绩。现在有了李皓搭出的基础，中国的光刻机迟早能引领世界，同时促进芯片研究制造的快速发展。一晚上的休息，第二天李皓就来到了公司，没成想徐教授却早早的就等在了这里。“您怎么来的这么早，昨晚没休息好。”徐教授摆了摆手，回道：“人逢喜事精神爽，我这些天精神好得不得了，也不用睡多长时间。”“那可不行，您当自己还是年轻小伙，这该有的休息时间，必须要保证。您可是咱们实验室的中流砥柱，昨天我那位老学长，打电话过来对咱们表示祝贺，还专门提起了您。我说了您肯定会把国产光刻机做到世界第一，所以身体可不能出问题。”徐教授一听这话，没好气道：“你这还帮我做起了承诺来，这事是好办的。”李皓笑道：“就是难办，才需要您老啊，毕竟您是谁啊。”徐教授看着李皓这无赖样，白了一眼：“好了，不说这些，还是说说有关阿斯麦公司的事？”李皓也正经起来，问道：“您关于这件事是怎么想的？”“我不建议和他们合作，要知道他们从84年开始，已经批量研发生产了多种型号的光刻机，其中不乏优秀产品。而我们现如今才刚刚能量产第一款产品，两家企业在生产效率和技术研发上，根本就不在一个档次。不是我涨他人志气灭自己威风，同台竞争，我们根本就没有获胜的希望。”李皓点了点头：“在这点上，我和您的看法保持一致，我们起步的时间还是晚了，中间又因为种种事情，而耽误了技术研发。要想赶上他们，确实是需要时间来弥补差距的。不过直接拒绝也不行，最好是要给他们一些希望，来一个欲拒还迎，只有这样才能尽可能拖住他们。避免他们尽早发现不对，从而来调转方向。”看到李皓这么说，徐教授也就放心下来。“那这事还是你来安排，毕竟算计人的手段，还是你最擅长，我们会全力来配合。”