第一三八六章 光刻机的现状（下）
“董事长，要是Nikon在我们之前，率先攻克157nm激光器技术，率先研发成功65nm制程工艺的光刻机，我们如何应对？”cto汤普森知道EUV光刻机不是短时间内能研制成功的，也主张两条腿走路，GcA研究院如今也在研发157nm激光器，由于GcA一直以研发EUV为主，157nm激光器的技术远不如Nikon和SVG，投资10美元，要是能够收购SVG，拿到SVG独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术，不能反超Nikon，也能同Nikon并肩齐驱。孙董事长不同意公司收购SVG，汤普森也不理解。EUVLLc联盟规划投资2亿美元，集合200多位顶尖科学家，目的就是从理论上验证了EUV光刻机的可行性？理论验证完成后，EUVLLc联盟将宣布解散，将研制EUV和EUV光刻机的难题交给GcA，据同行在一起估算，研发投资起码要花50亿美元！汤普森领导EUVLLc联盟的200多位科学家，研究了2年多，还没有验证清楚EUV光刻机的可行性？“汤普森院长的担忧也有道理，除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外，艾德里安先生可以同papken先生接触一下，看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利？价格可以商量”papken是SVG的首席执行官。孙健本来不想在董事会上谈论收购SVG的事情，但汤普森的提问代表GcA高层的疑惑，不得不正面回应。当时因为bSEc研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术，孙健不反对GcA研究院两条腿走路，但bSEc研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术，GcA再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举，但也不能打击众人的积极性。“好的，董事长！”艾德里安心里好奇，为什么孙董事长不同意收购SVG？似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持，难道还有更好的方法？明白papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。“汤普森院长，EUVLLc联盟一旦从理论上验证了EUV光刻机的可行性后，要是GcA继续研发EUV光刻机，理论上大概需要多少投资”孙健转移话题，也是告诉公司高层，GcA账上的现金流不是多了，而是远远不够。前世，EUVLLc联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多，发表了几百篇科研论文，从理论上验证了EUV光刻机是可行的，目的达到，解散了EUVLLc联盟，接下来的实际问题都抛给了ASmL，面对如此高深的技术，ASmL是选择做还是不做？ASmL一家之力不可能完成研制成功EUV光刻机这项宏伟工程，不得不拿出公司近三成的股权，向下游光刻机重要客户Intel、台积电和三星电子融资了60多亿美元！据说为了研发EUV光刻机，ASmL前前后后在将近20年时间内投入上百亿美元的研发费用。GcA和Nikon占据光刻机的高端市场，技术水平不分仲伯，但由于高端光刻机用户Intel、Ibm、It、Adm、hp同GcA既是Sematech会员，又是GcA的股东，采用一致对外的策略，GcA的高端光刻机是首选，GcA如今占据全球高端市场份额的近7成，NiKon占3成多。在技术水平相同的情况下，市场起决定因素。根据光刻机技术和市场占有率，GcA如今成为名副其实的全球老大，Nikon屈居第二。Nikon想从GcA的手里抢回Intel、Ibm、It、Adm、hp的高端光刻机订单，只能率先攻克193nm波长的世界性难题，第一个研发成功65nm制程工艺的光刻机才有可能。在Nikon技术领先的情况下，Intel、Ibm、It、Adm、hp就会以公司的利益为重。ASmL的工程师琼斯带领20多人的研发部门经过3年多时间的研发，于1996年9月，研发成功全球第二款具有自主知识产权的光刻机双工作平台系统，但为时已晚，ASmL和其他光刻机公司都购买了bSEc的专利技术，自己生产光刻机双工作平台系统，bSEc负责升级；除了GcA，其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1%的专利使用费。GcA如今已经升级配套90nm制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术，遥遥领先于ASmL的技术，按照专利技术转让协定，bSEc交给了Nikon、ASmL、canon和SVG。全球光刻机用户已经习惯使用bSEc磁悬浮式双工作台系统技术，ASmL在中高端光刻机上还是使用bSEc的，在低端光刻机上使用自研的。魏建国等bSEc的高层们都敬佩孙董事长的远见卓识，1999年度，公司光靠这项全球领先的公司发明专利，收取的专利技术转让费就达到公司净利润的16.5%，这些年赚得盆满钵满。ASmL先后在阿姆斯特丹和纳斯达克上市，研发资金有了保障，去年10月，第三个研发成功180nm制程工艺的光刻机，技术水平排在canon的前面，凭借欧洲和韩国光刻机市场，占据全球中高端市场5成的市场份额。第三大股东飞利浦公司不看好ASmL的发展前景，加上公司电器业务出现问题，造成资金紧张，在高位逐渐清空了ASmL的股票，退出了董事会，蔡司集团成为第三大股东。ASmL如今总股本增加到万股，tIc持有2250万股，占股15%，这些年没有买也没有套现。ASmL在纳斯达克市场上的股票收盘23.5美元，tIc持有的股票市值万美元，1993年，tIc投资了1800万美元，赚了28倍多！tIc要是在1993年在道琼斯市场上投资1800万美元购买GcA的股票，在今年3月前套现，可以赚329倍！在孙健的眼里，ASmL不仅是一个投资品种，也是一个备胎。“孙总，据大家私下估算，没有50亿美元的投入，看不到EUV光刻机的影子。”汤普森感觉压力巨大，孙董事长似乎知道研究EUV光刻机的重要性和难度，投入巨资，最后失败了，GcA可能要破产！众董事也是一脸惊讶，这是第一次从汤普森的口里得知，即使EUVLLc联盟验证EUV光刻机的可行性，GcA继续研发EUV光刻机，起码还需要50亿美元的研发投入！一旦失败，对GcA将造成毁灭性的打击，但孙董事长似乎并不担心。